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来源 :材料导报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用直流磁控溅射制备TaN薄膜,研究了热处理对TaN薄膜微结构及电性能的影响。结果表明,退火温度及退火时间都将影响薄膜的微结构及方阻。随退火温度的升高和时间的延长,TaN薄膜
【作 者】
:
蒋洪川
向阳
王超杰
莫绍毅
雷云
张万里
【机 构】
:
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2008年3期
【关键词】
:
TaN薄膜
退火
微结构
方阻
TaN films
annealing
microstructure
sheet resistance
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