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文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展，着重介绍了目前耦合效率最高（55％），且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性。
SOI基光耦合器研究进展
【摘 要】
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文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展，着重介绍了目前耦合效率最高（55％），且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2007年1期
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