【摘 要】
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纳米激光偏振干涉仪的主要用途是检定分辨率高于0.01μm 的电感、电容测微仪。因此,微位移部件的位移量的微小程度非常关键,它可决定仪器的灵敏阈。另外,还应考虑仪器的测量
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纳米激光偏振干涉仪的主要用途是检定分辨率高于0.01μm 的电感、电容测微仪。因此,微位移部件的位移量的微小程度非常关键,它可决定仪器的灵敏阈。另外,还应考虑仪器的测量范围。兼顾这两个方面,在设计
The main purpose of the nano-laser polarization interferometer is to verify the inductance and capacitance micrometer with the resolution higher than 0.01μm. Therefore, the micro-displacement of the small amount of displacement is very crucial, it can determine the sensitivity threshold of the instrument. In addition, you should consider the measurement range of the instrument. Take into account these two aspects, in the design
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