【摘 要】
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电场辅助阳极连接技术已成为微电子器件领域最常用的连接方法之一，但目前对这一技术的物理和化学机制还不十分清楚，有关的研究文章也较少，深入理解电场辅助阳极连接过程的机制将
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电场辅助阳极连接技术已成为微电子器件领域最常用的连接方法之一，但目前对这一技术的物理和化学机制还不十分清楚，有关的研究文章也较少，深入理解电场辅助阳极连接过程的机制将有助地完善该技术。为此，本文用等效电路的方法研究了点阴极情况下的电场辅助阳极连接效应,计算了连接电流、连接孕育期和紧密接触面积。计入了电场辅助连接中玻璃厚度的影响,改进了Anthony的结果,并得出孕育期表达式。本文结果表明,连接初期电流迅速衰减,随后缓慢变小,直至某一稳定值;电场辅助阳极连接过程初始一般都存在一个孕育期,孕育期随温度上升指数
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