子孔径拼接干涉法检测非球面

• 作 者: 王孝坤 王丽辉 张学军
• 机 构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
• 出 处: 光学精密工程
• 发表日期: 2007年2期
• 关键词: 子孔径拼接 干涉测量 非球面 齐次坐标变换 最小二乘拟合 subaperture stitching interferometry aspheric surfa

介绍了子孔径拼接干涉检测非球面的理论和方法，分析了其基本原理，基于齐次坐标变换、最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了一种合理的拼接算法和数学模型。对-抛物面镜进行了五个子孔径的计算机模拟拼接实验，拼接前后全孔径面形误差分布是一致的，其PV值和RMS值的偏差分别为-0．0092λ和0．0013λ；全口径相位分布的PV值和RMS值的相对误差分别为0．39％和0．44％。实验结果表明，利用于孔径拼接技术不需要零位补偿就能实现对较大口径非球面的测量。