氩离子辐照对ZrO2—Y2O3薄膜的结构影响

• 作 者: 黄宁康 冯志蓉
• 机 构: 四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所成都610064,成都610064,成都610064
• 出 处: 原子能科学技术
• 发表日期: 1992年6期
• 关键词: 离子 辐照 氩 薄膜 氧化锆 氧化钇 Ion irradiation Magnetron sputtering deposited ZrO_2-8%(m/m)

为了研究离子辐照对薄膜结构的影响,对氩离子辐照磁控溅射沉积的ZrO2-8%（m/m）Y203薄膜,用XRD、AES及XPS进行微观分析。结果表明,溅射沉积的无定形薄膜经离子辐照后发生了晶化,膜内元素与基体元素发生了显著的混合,表面污染的碳向膜内迁移。此外,还研究磁控溅射沉积ZrO2-8%（m/m）Y2O3薄膜氩离子辐照前后表面Zr（3d）,Y（3d）,O（1s）结合能的位移情况。更多还原