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采用射频磁控溅射法分别在100、200、300W和400W功率下制备了4种锂离子电池用Sb薄膜负极材料。通过X射线衍射光谱法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)、电感耦合等离子体光谱分析法(1CP)、恒电流充放电对4种薄膜材料的结构、形貌及循环性能等进行了表征。实验结果表明,随着溅射功率增加,Sb薄膜晶化程度加剧,结晶趋于完整,颗粒粗化。在相同溅射时间30min的情况下,当功率为300W时,获得的Sb薄膜电极具有最好的循环性能。首次嵌锂比容量达640mAh/g,20次循环后比容量维持在323mAh/g,