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SiGe／Si异质结光电器件及其光电集成（OEIC）是硅基光电研究的一个非常引人注目的领域。综述了SiGe／Si异质结材料的基本性质，SiGe／Si异质结光电器件的结构、性能、应用及其光电集成。重点介绍了SiGe／Si光电探测器及其与其他相关器件的集成。
SiGe／Si异质结光电器件
【摘 要】
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SiGe／Si异质结光电器件及其光电集成（OEIC）是硅基光电研究的一个非常引人注目的领域。综述了SiGe／Si异质结材料的基本性质，SiGe／Si异质结光电器件的结构、性能、应用及其光电集成。
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年1期
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