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采用化学气相沉积法在包覆燃料颗粒上制得SiC涂层.对SiC涂层的功能、沉积设备、沉积工艺及组织结构进行了较系统的描述.研究表明:制得的SiC涂层表面光滑、致密、无明显孔洞;与内、外致密热解碳层的界面清晰,无明显扩散渗透现象.对SiC涂层的组分及晶体结构分析表明:涂层主要元素为Si和C,且Si/C的摩尔比接近1∶1,反应生成化学计量比的β-SiC.价键结构分析则表明:涂层中主要连接键为Si-C共价键.