【摘 要】
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离子注入材料改性是80年代一种新技术,新工艺,能提高材料的表面硬度,耐磨、抗腐蚀及改变表面的摩擦润滑性能,而注入工件在高真空、高电压和强辐射场环境中测量有一定的难度.
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离子注入材料改性是80年代一种新技术,新工艺,能提高材料的表面硬度,耐磨、抗腐蚀及改变表面的摩擦润滑性能,而注入工件在高真空、高电压和强辐射场环境中测量有一定的难度.本文描述在60～100KV 氮离子注入工件温度的测量装置,在0～+300℃范围内其最小二乘法线性度为0.2%,灵敏度约为20mV/℃;在我校100kV 离子注入金属改性机上试验表明,能稳定可靠地工作。
Ion implantation material modification is a new technology and new technology in the 1980s, which can improve the surface hardness, wear resistance, corrosion resistance and change the friction and lubrication properties of the surface, while the injection of the workpiece in high vacuum, high voltage and strong radiation field environment In this paper, we describe the temperature measuring device of 60 ~ 100KV nitrogen ion implanted workpiece, the least squares linearity is 0.2% and the sensitivity is about 20mV / ℃ in the range of 0 ~ + 300 ℃. In our school 100kV ion implantation metal modification machine test shows that it can work stably and reliably.
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