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本文详细地叙了各种硅吸除技术;阐明了非本征吸除、本征吸除和综合吸除的机理和工艺。举例说明了吸除技术的应用。
硅吸除技术
【摘 要】
：
本文详细地叙了各种硅吸除技术;阐明了非本征吸除、本征吸除和综合吸除的机理和工艺。举例说明了吸除技术的应用。
【机 构】
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峨眉半导体材料厂、所,峨眉半导体材料厂、所四川峨眉614200,四川峨眉614200
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1990年3期
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