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<正> 目前,微机械作为一项新工艺,还是处在开始发展的阶段,它将在本世纪对世界科技的发展产生重大的影响。现在,利用这项技术,以硅作为基质可制成简单的微型结构和多种传感器(例如,压力传感器,加速度传感器等)以及其它的致动器。并可以集成到微系统中。已有几种产品投入市场,并有
微机械的市场调研
【摘 要】
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<正> 目前,微机械作为一项新工艺,还是处在开始发展的阶段,它将在本世纪对世界科技的发展产生重大的影响。现在,利用这项技术,以硅作为基质可制成简单的微型结构和多种传感器
【出 处】
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光机电世界
【发表日期】
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1994年1期
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