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【摘 要】
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本文通过采用控制冷却水的流量变化实现Ar F光源腔体的温度控制。首先建立了腔体的热交换模型,并通过分析计算分别得到了腔体内的空气温度和热源、PCW流量、PCW入口温度的传
【机 构】
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武昌工学院机械系,
【出 处】
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科技致富向导
【发表日期】
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2015年14期
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