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利用低压金属有机物气相沉积(LP-MOCVD)技术，采用两步生长法，在(0001)蓝宝石衬底上获得了纤锌矿结构的Zn1-xMgxO合金单晶薄膜．实验发现随着Mg原子的增多，ZnMgO的晶格常数逐渐减小．X射线衍射谱中未出现除(0002)峰之外的其他峰位，表明该合金薄膜具有很强的择优取向和较好的晶体质量．室温透射谱与光致发光谱显示，其吸收边或带边发光峰随Mg原子浓度的增加首先出现红移然后出现蓝移．该反常现象与ZnMgO薄膜中产生的杂质缺陷的行为有关．研究表明在MOCVD生长ZnMgO合金薄膜过程中，必须优化