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本文介绍了按激光波长的倍数刻制的高准确度光栅标尺,它用计算电路及综合修正技术校正了累积误差和温度误差,分辨率达到0.1μm。
高准确度光栅标尺
【摘 要】
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本文介绍了按激光波长的倍数刻制的高准确度光栅标尺,它用计算电路及综合修正技术校正了累积误差和温度误差,分辨率达到0.1μm。
【机 构】
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北京机械工业学院,上海二光厂
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1992年12期
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