【摘 要】
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在外部电极电容耦合的辉光放电中进行了六甲基二硅氮烷和八甲基环四硅氧烷的等离子体聚合,考察了压力、功率以及等离子气体对聚合速率的影响。用红外光谱、X—射线衍射和溶解
【机 构】
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中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院长春应用化学研究所,大连工学院化工系 1983年应届毕业生
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在外部电极电容耦合的辉光放电中进行了六甲基二硅氮烷和八甲基环四硅氧烷的等离子体聚合,考察了压力、功率以及等离子气体对聚合速率的影响。用红外光谱、X—射线衍射和溶解度等方法研究了聚合物的结构,并研究了聚合物的热稳定性、耐溶剂性和疏水性,测定了聚合膜的密度和折射率。
The plasma polymerization of hexamethyldisilazane and octamethylcyclotetrasiloxane was performed in the external electrode capacitively coupled glow discharge. The effects of pressure, power and plasma gas on the polymerization rate were investigated. The structure of the polymer was studied by IR, X-ray diffraction and solubility. The thermal stability, solvent resistance and hydrophobicity of the polymer were also studied. The density and refractive index of the polymer were measured.
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