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通过用波长为355nm的紫外激光对蓝宝石进行抛光，利用激光共聚焦扫描仪测量抛光后的表面粗糙度Ra，并结合抛光前后蓝宝石表面微观形貌特征观测，研究紫外激光脉冲能量、激光光束扫描速度、激光重复频率及激光光束入射角等工艺参数对蓝宝石表面粗糙度Ra的影响规律。
355nm紫外激光抛光工艺参数对蓝宝石表面粗糙度的影响
【摘 要】
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通过用波长为355nm的紫外激光对蓝宝石进行抛光，利用激光共聚焦扫描仪测量抛光后的表面粗糙度Ra，并结合抛光前后蓝宝石表面微观形貌特征观测，研究紫外激光脉冲能量、激光光束扫
【机 构】
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漳州职业技术学院机械与自动化工程系
【出 处】
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漳州职业技术学院学报
【发表日期】
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2013年1期
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