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基于柔性铰链和磁致伸缩效应的二维微定位机构的研究
基于柔性铰链和磁致伸缩效应的二维微定位机构的研究
来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wosliuxiang1
【摘 要】
:
设计了一种新型的基于柔性铰链和磁致伸缩效应的纳米级二维微定结构,并对该机构进行了实验研究,基重复定位精度在4μm×4μm范围内为±2nm。
【作 者】
:
王彤宇
张树仁
【机 构】
:
长春光学精密机械学院
【出 处】
:
新技术新工艺
【发表日期】
:
2000年12期
【关键词】
:
柔性铰链
磁致伸缩效应
微定位机构
纳米加工
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设计了一种新型的基于柔性铰链和磁致伸缩效应的纳米级二维微定结构,并对该机构进行了实验研究,基重复定位精度在4μm×4μm范围内为±2nm。
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