【摘 要】
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申请号:201110434046.0【公开号】CN102539063A【公开日】2012.07.04【分类号】G01L19/06(2006.01)I;G01L1/18(2006.01)I【申请日】2011.12.16【申请人】西安交通大学【发明
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申请号:201110434046.0【公开号】CN102539063A【公开日】2012.07.04【分类号】G01L19/06(2006.01)I;G01L1/18(2006.01)I【申请日】2011.12.16【申请人】西安交通大学【发明人】赵玉龙;牛喆;田边;王伟忠【摘要】一种SOI矩形膜结构高压传感器芯片,包括高压传感器芯片,高压传感器芯片底面的中心区域腐蚀形成
Application Number 申请 号 201110434046.0 【Publication Number】 CN102539063A 【Publication Date】 2012.07.04 【CateGory Index】: G01L19 / 06 (2006.01) I; G01L1 / 18 【Filing Date】 2011.12.16 【Applicant】 西安 交通 大学 【 Inventor] Zhao Yulong; Niu Zhe; Tanabe; Wang Weizhong 【Abstract】 A high-voltage sensor chip SOI rectangular membrane structure, including high-voltage sensor chip, high pressure sensor chip bottom surface of the central region of corrosion
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