【摘 要】
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一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统,包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置;反应装置包括第二除尘器;第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四
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一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统,包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置;反应装置包括第二除尘器;第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管;第四进气管竖向设置,其底部位于集尘管内,其顶部贯穿于集尘管的顶部;第四进气管的底部设有气体分布器,位于气体分布器的上方设有气体扰流板;第二排 污管设于集尘管的底部;氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接,氮气回收装置连接于精馏塔和反应装置之间;本发明根据上述内容提出一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统,其能够稳定回收氮气,除尘效果好,四氟化碳纯化效果理想.
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