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用八束激光刷涂半导体掩模母板可比原来的工艺快五倍。每次可以扫描2 mm宽的条，分裂激光束产生甚大规模集成电路所有元仵的复杂几何图形。最后，由激光产生的数据印在母板上，成为放大铬-石英母板图形,用来制造掩模，生产各种芯片。
用激光刷涂半导体掩模母板
【摘 要】
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用八束激光刷涂半导体掩模母板可比原来的工艺快五倍。每次可以扫描2 mm宽的条，分裂激光束产生甚大规模集成电路所有元仵的复杂几何图形。最后，由激光产生的数据印在母板上，成为放大铬-石英母板图形,用来制造掩模，生产各种芯片。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1989年26期
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