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开发了1种带有超晶格蛄构膜(用先-CVD法制作)的新型非晶硅(a-Si)紫外线传感嚣。a-Si紫外线传感器的蛄构为:石英/TCO/超晶格P层/in层/金属层.与常规的pin型a-Si光传感器比较,在短波长区域内,a-Si紫外线传感嚣的灵敏度有了进一步改善。a-Si紫外线传感嚣的特点是:灵敏度高、生产成本低和可靠性高.