【摘 要】
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随着集成电路微细加工技术的迅速发展,微细机械加工技术越来越受到人们的关注。由于硅作为一种机械材料有着许多独特的优点,再加上它在电子器件领域中的主力军地位,所以对硅
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随着集成电路微细加工技术的迅速发展,微细机械加工技术越来越受到人们的关注。由于硅作为一种机械材料有着许多独特的优点,再加上它在电子器件领域中的主力军地位,所以对硅的微细机械加工技术的探索尤为引人注目。本文主要介绍硅器件中常用的体型和面型微细机械加工技术。
With the rapid development of integrated circuit microfabrication technology, more and more people pay more attention to the micro-machining technology. As silicon has many unique advantages as a mechanical material, coupled with its main force in the field of electronic devices, so the exploration of silicon micro-machining technology is particularly striking. This article describes the commonly used silicon device size and surface micro-machining technology.
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