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本文在讨论利用红外吸收原理的红外测厚仪基本结构的基础上,着重研究了非线性(偏离Beer-Lamben定律)、材质、干涉条纹对测量的影响,给出了提高精度的设计原理和方法.
红外测厚仪及提高其精度的方法
【摘 要】
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本文在讨论利用红外吸收原理的红外测厚仪基本结构的基础上,着重研究了非线性(偏离Beer-Lamben定律)、材质、干涉条纹对测量的影响,给出了提高精度的设计原理和方法.
【机 构】
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浙江工学院电子工程系,浙江工学院电子工程系
【出 处】
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电子测量与仪器学报
【发表日期】
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1992年04期
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