【摘 要】
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本文介绍了在在线电压比较检测中可采用未接地链测试结构对诱发通孔和接触孔开路缺陷的机制进行监控和调试。它为如何利用在线电压对比检测技术的优点带来众多新的机会。同时
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本文介绍了在在线电压比较检测中可采用未接地链测试结构对诱发通孔和接触孔开路缺陷的机制进行监控和调试。它为如何利用在线电压对比检测技术的优点带来众多新的机会。同时,本文还提出一种有关开路链的 VC信号表现的解释理论,并进行了实验验证。此外,本文还介绍了在 IBM 的300毫米代工厂中对这一现象的应用方法以及部分使用案例。
This article describes the detection of online voltage comparison can be used to detect the structure of the ungrounded chain induced contact hole open hole and contact hole open defect monitoring and debugging mechanisms. It opens up many new opportunities for taking advantage of the benefits of on-line voltage contrast detection. At the same time, this paper also presents an explanation theory about the open-chain VC signal performance, and carries on the experiment verification. In addition, this article also describes the application of this phenomenon in the 300-millimeter foundry in IBM as well as some use cases.
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