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苏州纳米技术与纳米仿生研究所利用爱思强系统助力氮化物半导体研究
苏州纳米技术与纳米仿生研究所利用爱思强系统助力氮化物半导体研究
来源 :现代显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户:laiyongxuan
【摘 要】
:
德国爱思强股份有限公司10月31日宣布,中国苏州纳米技术与纳米仿生研究所订购了两套爱思强的近耦合喷淋头技术(CCS)系统,以拓展该中心的氮化物半导体研究。订单于2012年第三季度
【出 处】
:
现代显示
【发表日期】
:
2012年11期
【关键词】
:
氮化物半导体
纳米技术
研究所
系统
仿生
苏州
利用
喷淋头
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德国爱思强股份有限公司10月31日宣布,中国苏州纳米技术与纳米仿生研究所订购了两套爱思强的近耦合喷淋头技术(CCS)系统,以拓展该中心的氮化物半导体研究。订单于2012年第三季度接获,计划将于2012年第四季度和2013年第一季度完成交付。
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