“砷化镓霍尔元件制造工艺研究”成果简介

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砷化镓霍尔元件以优异的综合性能博得用户的赞识。日本于1972年实现商品化;英国、苏联、美国相继以各种牌号问世。我国于1974年起步研制,沈阳仪器仪表工艺研究所于1979年春在制造技术工艺上有所突破,制造出合格的砷化镓霍尔元件, Gallium arsenide Hall element won the user’s praise with excellent overall performance. Japan in 1972 to achieve commercialization; Britain, the Soviet Union, the United States have come out in various brands. China started the development in 1974, Shenyang Institute of Instrumentation Technology in the spring of 1979 a breakthrough in manufacturing technology, manufacturing qualified GaAs Hall element,
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