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利用LEED研究了Si(113)表面的原子结构.清洁表面是采用离子轰击和退火方法制备的.实验发现:当温度高于600℃时表面为1×1结构,随着温度缓慢下降,表面原子结构发生1×1(?)3×1(?)3×2的可逆相变.
Si（113）表面的原子结构
【摘 要】
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利用LEED研究了Si(113)表面的原子结构.清洁表面是采用离子轰击和退火方法制备的.实验发现:当温度高于600℃时表面为1×1结构,随着温度缓慢下降,表面原子结构发生1×
【机 构】
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中国科学院半导体研究所表面物理实验室,中国科学院半导体研究所,中国科学院表面物理实验室物理研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1991年2期
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