【摘 要】
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共焦点扫描测量技术是微光学、微机械、微电子领域中测量三维微细结构、微台阶、微沟槽宽度、深度等结构参数的重要技术手段之一。目前,在传统共焦扫描成像技术基础上已经发
【机 构】
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哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 副教授
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共焦点扫描测量技术是微光学、微机械、微电子领域中测量三维微细结构、微台阶、微沟槽宽度、深度等结构参数的重要技术手段之一。目前,在传统共焦扫描成像技术基础上已经发展演变出双光子荧
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