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【摘 要】
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聚酰亚胺具有耐高温、耐腐蚀、绝缘性能好、化学性质稳定等特点,在MEMS工艺中有很广泛的应用前景,适于做牺牲层、绝缘层和平坦层等.在简要介绍聚酰亚胺的基础上,着重介绍聚酰
【机 构】
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厦门大学机电工程系,厦门大学萨本栋微机电研究中心
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年4期
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