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真空沿面闪络一直是限制相关高压技术应用的重要问题，因此通过深入认识真空沿面闪络形成过程等离子体演化特性来掌握影响等离子体形成和演变的主要因素，对进一步提高相关器件耐压性能有着重要意义。本文基于金属-真空-绝缘体交界处的三相点场致电子发射、绝缘体表面电荷累积、二次电子发射、气体解吸附及电了与解吸附气体相互作用等基本物理过程，通过二维轴对称PIC-DSMC（网格质点法-直接模拟蒙特卡罗法）耦合算法建立了1mm间隙的真空沿面闪络仿真模型，阐明了电子、离子和中性粒子的时空分和演化特性，揭示了绝缘体表面电荷累积对阴