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本文评述了Ⅲ-Ⅴ族化合物等离子腐蚀的基本原理,并报导了有关工艺化学的最近进展。最后,概观等离子腐蚀在器件制作中的应用。
Ⅲ—Ⅴ族化合物等离子腐蚀
【摘 要】
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本文评述了Ⅲ-Ⅴ族化合物等离子腐蚀的基本原理,并报导了有关工艺化学的最近进展。最后,概观等离子腐蚀在器件制作中的应用。
【机 构】
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重庆光电技术研究所重庆永川632163
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1990年2期
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