离子束增强沉积制备Al、Al-Y薄膜改善304不锈钢抗氧化性能的研究

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用离子束增强沉积的方法,在304不锈钢表面合成了Al及Al-Y薄膜.通过在950℃、1050℃的恒温氧化和950℃的循环氧化实验发现,由于Al_2O_3保护膜的生成显著提高了304不锈钢的抗氧化性,而Y的加入又明显地提高了Al_2O_3氧化膜的抗循环氧化能力.本文通过SEM、AES、EPMA及X射线衍射相分析等手段,分析了氧化产物层的形貌和组成.并根据实验结果探讨了Al、Y有益作用的机制. Al and Al-Y thin films were synthesized on the surface of 304 stainless steel by ion beam enhanced deposition. Through the oxidation at 950 ℃ and 1050 ℃ and the cyclic oxidation at 950 ℃, it was found that the oxidation resistance of 304 stainless steel was significantly enhanced by the formation of Al 2 O 3 protective film, and the addition of Y significantly improved the anti-circulation of Al 2 O 3 oxide film Oxidation ability. In this paper, by SEM, AES, EPMA and X-ray diffraction phase analysis and other means, the oxidation product layer morphology and composition. According to the experimental results, the beneficial mechanism of Al and Y was discussed.
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