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将纳米碳化硅粉体材料掺进PAA中，合成碳化硅SiC／PAA，经加热固化制成固体复合材料；利用不同型号的阻抗分析仪表征性能，分析测试，比较介电常数，其最低可达ε=2．0，平均值达ε=2．2，比基体聚酰亚胺（介电常数为3．4）及传统的的低介电材料二氧化硅（介电常数为4．0）显著降低。
微电子层间绝缘材料的制作与介电常数测试
【摘 要】
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将纳米碳化硅粉体材料掺进PAA中，合成碳化硅SiC／PAA，经加热固化制成固体复合材料；利用不同型号的阻抗分析仪表征性能，分析测试，比较介电常数，其最低可达ε=2．0，平均值达ε=2．2，比基体聚
【机 构】
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陕西理工学院化学与环境科学学院
【出 处】
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铸造技术
【发表日期】
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2008年6期
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