【摘 要】
：
本文总结了影响反应磁控溅射离子镀氮化钛膜层质量的主要工艺参数。测得了靶极电压与氮气流量、靶极电流与氮气流量、溅射室内压强与氮气流量、氮化钛膜的颜色与氮分压、氮化
【机 构】
：
东北工学院物理系,东北工学院物理系 沈阳,沈阳
论文部分内容阅读
本文总结了影响反应磁控溅射离子镀氮化钛膜层质量的主要工艺参数。测得了靶极电压与氮气流量、靶极电流与氮气流量、溅射室内压强与氮气流量、氮化钛膜的颜色与氮分压、氮化钛膜的颜色与基板温度、靶极功率与氩气分压的关系以及薄膜层中氮、钛含量沿薄膜表面的分布。上述结果对提高溅射速率和薄膜质量有很大的实际意义。
This article summarizes the main process parameters that affect the quality of TiN coatings by reactive magnetron sputtering. The target voltage and nitrogen flow rate, the target current and nitrogen flow rate, the sputtering chamber pressure and nitrogen flow rate, the color and nitrogen partial pressure of the titanium nitride film, the color and substrate temperature of the titanium nitride film, the target power and argon The relationship between gas partial pressure and the distribution of nitrogen and titanium in the film layer along the film surface. The above results have great practical significance for improving the sputtering rate and film quality.
其他文献
作者研究了由菱镁矿得到的氧化镁在1500～1600℃范围内烧结时的晶粒长大。发现烧结试样中二维及三维晶粒尺寸分布符合对数正态分布,平均粒径和粒径分布中位数的增长符合抛物线
学院以人才培养为中心,针对学生的特点,按照全员育人、全过程育人的原则,从"课程化建设、日常管理和第二课堂、专业教学"三个方面,三位一体构建学生人文素质与职业素养培养体
我结婚5年了,因为老公是独子,婆婆和我们住在一起。我做什么事都得不到婆婆的赞赏,而且总是挑我的毛病,以致影响了我和老公的关系,我不知该怎么办?——高女士想想如果你是婆
近几年来,人们发现淋巴因子激活的杀伤细胞(LAK)对肿瘤细胞具有较强的杀伤作用,但有关LAK 细胞活性与乙肝病毒抗原(HBV-Ag)关系的研究报道尚不多。本文作者研究了纯化重组HB
本文介绍了遥感图像的计算机复合分层分类方法:在用马氏距离判决分类基础上,引入了土壤图、地形图和纹理结构信息以及专家知识,对初始分类结果进行了分层判决。提高了分类精
与女孩相比,男孩更能降低父母离婚率;年龄和学历差距越小,婚姻越稳定;中国的婆媳关系不和与儒家文化有关,西方婆媳之间很少存在矛盾是因为信奉基督教。2011年7月9日至10日,由
By using the Yoshimitsu Okada and Steketee fault dislocation model,we calculated the vertical and horizontal displacements along the Yingxiu-Beichuan inverse fa
女人太聪明,恋爱一般不会太愉快。掐指一算,便把世事悟透,锋芒掩不住,连装笨都没人信。而男人断断不能容忍女人洞悉他的手腕。男人比较喜欢女人亦步亦趋,有些小聪明但不妨碍
吴女士今年30岁,大学毕业后在长沙工作,父母一直在安徽老家居住。吴女士说:“我一年也就是春节回一次家,每次回家,真正在家的时间不超过5天。5天里,大概还有两三天出门与朋友
本文论述了用滑觉传感器检测信号、微机进行控制、电液伺服驱动的液压机械手的结构,及其实现“软抓取”的控制过程。
This paper discusses the structure of the hydraulic