【摘 要】
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基于麦克斯韦方程组和材料本构方程,利用多物理场有限元软件COMSOL Multiphysics 3.5a中的RF模块建立了多坑绒面的有限元模型,并对硅片腐蚀前后的光学特性进行了模拟.研究表
【机 构】
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江西省高等学校硅材料重点实验室,新余学院新能源科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金（51164033）,江西省自然科学基金（20132BAB206021）,江西省教育厅科学技术研究项目（赣教技字[11739]、[12748]号）
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基于麦克斯韦方程组和材料本构方程,利用多物理场有限元软件COMSOL Multiphysics 3.5a中的RF模块建立了多坑绒面的有限元模型,并对硅片腐蚀前后的光学特性进行了模拟.研究表明,与硅片腐蚀前相比,腐蚀后（即多坑）绒面反射率较低,功率流y分量较高,具有较好的陷光效果,当波长为800 nm时,多坑绒面表面电场z分量的最大值和最小值分别为腐蚀前硅片的3.1倍和2.3倍,而表面磁场y分量两个极值分别为腐蚀前硅片的6倍和6.6倍;通过将模拟结果和实验数据比较可知,多坑模型模拟结果更接近实验值,所获模拟
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