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二氧化钛薄膜被广泛应用于光催化和光电化学分解水产氢。不同的方法制备的二氧化钛薄膜在形貌、结构等各方面存在差异,光催化和光电化学性能也有所不同。本文总结了近年来纯TiO2薄膜及复合薄膜的制备方法及产氢性能,包括水热法、阳极氧化法、磁控溅射法、模板法、原子层沉积法等,并比较了其光电流密度和产氢量。