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在30kW级直流电弧等离子体喷射化学气相沉积（Dc Arc Plasma Jet CVD）设备上，采用Ar-H2-CH4混合气体，通过调节甲烷浓度以及控制其他沉积参数，在Mo衬底上沉积出微/纳米复合自支撑金刚石膜。实验表明，当微米金刚石膜层沉积结束后，在随后的沉积中，随着甲烷浓度的增加，金刚石膜表面的晶粒大小是逐渐减小的。当甲烷浓度达到20％以上时，金刚石膜生长面晶粒呈现菜花状的小晶团，膜体侧面已经没有了粗大的柱状晶，而是呈现出光滑的断口，对该层进行拉曼谱分析显示，位于1145cm。附近有一定强度的散射峰