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美国喷气推进实验室最近设计了一种新型表面微机械加工平面型热电堆列阵,这种拟被用作热成像探测器的平面型二维热电堆列阵将用一种包括微机械加工的工艺制备,其性能将优于以前的二维热电堆列阵.
美国设计改进型表面微机械平面热电堆列阵
【摘 要】
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美国喷气推进实验室最近设计了一种新型表面微机械加工平面型热电堆列阵,这种拟被用作热成像探测器的平面型二维热电堆列阵将用一种包括微机械加工的工艺制备,其性能将优于以
【出 处】
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红外
【发表日期】
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2003年11期
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