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非晶碳化硼薄膜

来源 :合肥工业大学学报(自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：smsyzgc

【作 者】

：

孙金坛 

【出 处】

：

合肥工业大学学报(自然科学版

【发表日期】

：

1993年06期

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