【摘 要】
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探讨了α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３半导体气敏元件的可靠性环境试验方法，对该元件的可靠性环境试验结果进行了数据处理和统计分析；探讨了该元件的主要失效模式，运用不同的评定方法对元件的环境应力适应能
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探讨了α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３半导体气敏元件的可靠性环境试验方法，对该元件的可靠性环境试验结果进行了数据处理和统计分析；探讨了该元件的主要失效模式，运用不同的评定方法对元件的环境应力适应能力进行了定量估计。
The environmental test method of α-Fe_2O_3 semiconductor gas sensor is discussed. The reliability test results of the element are processed and statistically analyzed. The main failure modes of the α-Fe_2O_3 semiconductor gas sensor are explored. Environmental stress adaptability has been quantitatively estimated.
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