FABRICATION OF DIAMOND TUBES IN BIAS-ENHANCED HOT-FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM

• 作 者: CHEN Ming MA Yuping XIANG Daoh
• 机 构: SchoolofMechanicalEngineering
• 出 处: 中国机械工程学报
• 发表日期: 2007年4期
• 关键词: 金刚石试管 热灯丝 化学水蒸气沉积物 高质量 制作工艺 Diamond tubeHot-filament chemical vapor depositionFa
• 基金项目: Selected from Proceedings of the 7th International Conference on Frontiersof Design and Manufacturing （ICFDM＇2006）. This project is supported byNational Natural Science Foundation of China（No. 5047502

有由用有钽的提高偏爱的热细丝化学药品蒸汽免职(CVD ) ，电线正在被优化的丙酮和氢的煤气的混合的钨电线底层上的薄电影安排了的钻石的免职被调查。self-supported 钻石试管被离开蚀刻钨底层获得。在底层的移动前后的钻石电影的质量被扫描电子显微镜(SEM ) 和 Ramanspectrum 观察。有好优秀、一致的厚度的圆柱的钻石试管被使用偏爱在钨电线上获得的结果表演提高了热细丝 CVD。在底层由 H_2O_2 和 NH_4OH 的混合离开蚀刻以后，在在免职期间形成的钻石电影的压缩应力被释放。在在底层