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用两组能量围绕P和InK层结合能上下的同步辐射单色X光对InP单晶[100]表面进行辐照。结果表明，无论X光子被P原子K壳层吸收还是被In原子K壳层吸收，InP单晶[100]表面P原子芯能级2P电子态变化明显。P和In原子K壳层X光吸收对InP单晶表面辐射损伤增强因子分别为4．4×10^-6kg/C和3．1×10^-5kg/C。