【摘 要】
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无外加氟施主情况下，在采用聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中，分别用摄谱法和光电转换扫描法对放电激发Ｋｒ／Ｎｅ混合气体产生的有关紫外谱进行了分析，确定了ＫｒＦ准分子的生成。研究了发
【机 构】
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山西大学电子信息技术系,中国科学院安徽光机所
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无外加氟施主情况下，在采用聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中，分别用摄谱法和光电转换扫描法对放电激发Ｋｒ／Ｎｅ混合气体产生的有关紫外谱进行了分析，确定了ＫｒＦ准分子的生成。研究了发射谱随各参量的变化关系。
In the absence of fluoride donor, the UV spectra of Kr / Ne mixed gas generated by discharge were analyzed by photogrammetry and photoelectric conversion scanning in excimer laser using polytetrafluoroethylene (PTFE) The formation of KrF excimer was confirmed. The relationship between the emission spectrum and each parameter is studied.
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