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X-射线衍射扫描可对试样和零件的化合物层厚度进行精确的测量。这种方法既快捷又不破坏试件，但是需要一系列的设备。通常，只有一些大公司才有条件采用这些设备，因为大公司还可以将这些设备用作其他项目的检测。在测试过程中，由不同结构的表面反射的X射线的强度相互之间有密切的联系。一种反射来自化合物层，另一种反射则来自基体金属（即aw句。当用铬靶xa射线扫描时，化合物展反射线的衍射角为67．2”，而a－Fe反射线的衍射角为68．8”。事实证明：这种用衍射强度峰值来分析评价的方法是足够精确的。图1为三种（AB和0）不同厚