X射线三维CT技术在元器件失效分析中的应用

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通过比较X射线DR,普通断层CT技术,扫描声学显微镜的功能特点,分析了X射线三维CT技术的优势。通过对焊接空洞、微动开关失效案例以及不同封装形式器件的分析,研究了X射线三维CT技术在电子元器件失效分析领域的应用。同时根据X射线三维CT成像的特点,分析了该技术发展的前景。 The advantages of X-ray 3D CT are analyzed by comparing the features of X-ray DR, plain CT and scanning acoustic microscope. The application of X-ray three-dimensional CT in the field of failure analysis of electronic components was studied through the analysis of the welding cavity, the case of microswitch failure and the different packages. At the same time, according to the characteristics of X-ray three-dimensional CT imaging, the prospect of the technology development is analyzed.
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