场致发射液体镓离子源的研制

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ren198525
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描述了研制的液体镓离子源的结构工艺,并对该离子源的电流与引出电压的关系,电流与温度的关系,亮度等进行了测试和讨论.该离子源的性能现已达到:亮度=1.3×10~(12)mA/cm~2·rad~2(在α=8°30'张角内测量);阈值电压5kV左右;寿命>50小时. The structure and process of the developed liquid gallium ion source are described and the relationship between the current and the extraction voltage of the ion source, the relationship between the current and the temperature, the brightness and the like are tested and discussed.The performance of the ion source has been reached: brightness = 1.3 × 10 ~ (12) mA / cm ~ 2 · rad ~ 2 (measured in α = 8 ° 30 ’); threshold voltage about 5kV; life span> 50 hours.
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