【摘 要】
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在32nm技术节点以下时,尽管极紫外(EUV)光刻技术已被视为主流的光刻生产技术解决方案,但是如何研发一套可靠、高性能EUV光源系统仍然是摆在业界面前的一道难题。此文将着重介
【机 构】
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在32nm技术节点以下时,尽管极紫外(EUV)光刻技术已被视为主流的光刻生产技术解决方案,但是如何研发一套可靠、高性能EUV光源系统仍然是摆在业界面前的一道难题。此文将着重介绍了基于触发模式、输出功率达到100W的光源系统。
While EUV lithography has been considered a mainstream lithography production technology solution below the 32nm technology node, developing a reliable, high-performance EUV light source system remains a challenge for the industry . This article will highlight the triggering mode, the output power of 100W of the light source system.
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