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采用离子束辅助反应蒸发的方法沉积3-5 μm和7-10 μm具有高透射率的多光谱氮氧化铪薄膜，通过控制沉积速率改变膜层中N、O化学计量比，从而研究氮氧化铪中N、O化学计量比不同对薄膜光学性能的影响规律。随着沉积速率从0.8 nm/s减小到0.05 nm/s，氮氧化铪薄膜的折射率从1.95降低到1.80，而消光系数从1×10^-3增大到8×10^-3，禁带宽度从5.62 eV减小到5.5 eV。在多光谱硫化锌基片上镀制增透膜和氮氧化铪薄膜后测试光谱曲线，3.0-5.0 μm波段的透射率为