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采用金属有机化学气相沉积方法，在Si（100）衬底上生长出具有高度C轴择优取向的ZnO薄膜．通过X射线衍射、原子力显微镜和室温光致发光谱研究了厚度对ZnO薄膜的结构、表面和光学性能的影响．X射线衍射图显示ZnO薄膜只有单一的（0002）峰，具有高度择优取向．AFM和PL测试表明，在取样薄膜厚度范围内，薄膜的表面质量和发光性能没有随着薄膜厚度的增加而提高．这是因为薄膜在厚度增加的生长过程中，生长模型变化且晶粒增大．